高性价比金属密封产品,高精度,多气体多量程,自动调零,量程2sccm-30slm,全金属密封,通讯方式:模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet
详细参数
产品技术指标
产品型号 |
CS200-D |
量程(N2) |
( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM |
精度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
重复精度 |
±0.2% FS |
线性 |
±0.5% FS |
响应时间 |
≤0.8 sec (SEMI E17-0600) |
阀类型 |
Normally Closed or Normally Open |
温度系数 |
Zero: ≤±0.02% F.S./℃;Span: ≤±0.05% F.S./℃ |
零点漂移指标 |
<0.6%F.S. per year without autozero |
表面粗糙度 |
25µinch |
工作环境温度 |
(0~50)℃ |
数字信号接口 |
ital: RS485
DeviceNetTM |
模拟流量输出信号 |
0-5V和4-20mA |
模拟流量控制信号 |
0-5V和4-20mA |
电源要求 |
±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) |
电连接器 |
D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale |
工作压差范围 |
(0.05~0.35) Mpa(≤10slm)
(0.1~0.35) Mpa(>10slm) |
最大耐压 |
3MPa |
漏率 |
1×10-10 atm·cc / sec He(1×10-11 Pa·m3 / sec He) |
密封材料 |
Metal |
表面化学成分 |
Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 |
接头尺寸 |
VCR1/4” M
SwagelokΦ6,Swagelok1/4”
W-seal,C-seal |
重量 |
1.2kg |
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